依照國際常規，無塵車間級別主要就是依據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規范的粒子數量來規則。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個十分微量的單位上。當然這個規范中契合灰塵規范的顆粒絕對于我們罕見的灰塵曾經是小的微乎其微，但是關于光學結構而言，哪怕是一點點的灰塵都會發生十分大的負面影響，所以在光學結構產品的生產上，無塵是必定的要求。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就到達了國際無塵規范的A級。目前使用在芯片級生產加工的無塵規范關于灰塵的要求高于A級，這樣的高標次要被使用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴厲控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。